Die 6. Tagung soll den Spezialisten von Mikromechanik und Mikroelektronik ein Podium bieten, sowohl den wissenschaftlichen Meinungsaustausch als auch Kontakte pflegen zu können. Die einzügige Organisation der Tagung ermöglicht es den Teilnehmern, sich über interessante Neuentwicklungen und Forschungsergebnisse beider Gebiete der Mikrosystemtechnik zu informieren. Wiederum sind regionale Kompetenzzentren für Mikrotechnologien wie das Anwendungszentrum für Mikrotechnologien Chemnitz (AMTEC) und das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz (ZfM) besonders in die Tagung involviert <b>Keywords:</b> Komponenten– und Systementwurf, Technologieentwicklung, Fabrikation, Charakterisierung von MEMS, Entwurf analoger und digitaler Schaltungen zur Anwendung in Mikrosystemen, Applikation von Mikrosystemen, Datenmanagementsysteme in der Mikrosystemtechnik
Abbrevation
MST
City
Chemnitz
Country
Germany
Deadline Paper
Start Date
End Date
Abstract