Abbrevation
MST
City
Chemnitz
Country
Germany
Deadline Paper
Start Date
End Date
Abstract

Die 6&#046; Tagung soll den Spezialisten von Mikromechanik und Mikroelektronik ein Podium bieten, sowohl den wissenschaftlichen Meinungsaustausch als auch Kontakte pflegen zu können&#046; Die einzügige Organisation der Tagung ermöglicht es den Teilnehmern, sich über interessante Neuentwicklungen und Forschungsergebnisse beider Gebiete der Mikrosystemtechnik zu informieren&#046; Wiederum sind regionale Kompetenzzentren für Mikrotechnologien wie das Anwendungszentrum für Mikrotechnologien Chemnitz (AMTEC) und das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz (ZfM) besonders in die Tagung involviert <b>Keywords:</b> Komponenten&#8211; und Systementwurf, Technologieentwicklung, Fabrikation, Charakterisierung von MEMS, Entwurf analoger und digitaler Schaltungen zur Anwendung in Mikrosystemen, Applikation von Mikrosystemen, Datenmanagementsysteme in der Mikrosystemtechnik