MICRO SYSTEM Technologies 2003, München, Deutschland

Internationaler Kongress & Ausstellung für Mikro&#8211; und Optoelektronik, mikromechanische Systeme und Komponenten&#046;<br>Der international führende Kongress mit Ausstellung führt anerkannte Experten aus Industrie und Wissenschaft zusammen, die ihre Ergebnisse in den Bereichen Entwicklung, Realisierung und Anwendung von Mikrosystemtechnologien, MEMS, MOEMS und Mikrofluiden präsentieren und diskutieren&#046;<br>Als Forum für den Austausch von praktischen Problemstellungen und innovativen technischen Lösungen trägt die MICRO SYSTEM Technologies 2003 wesentlich dazu bei, industrielle Anwendungen zu stimulieren und so eine wachsende MST Infrastruktur zu etablieren&#046;<br>Aspekte des Mikrosystem&#8211;Packagings und der Fertigung stehen im Mittelpunkt des Kongresses&#046; Die Bereiche der Realisierung der Mikrostrukturen, des Packagings und der Systemimplementierung werden schwerpunktmäßig behandelt, denn gerade diese Punkte müssen den Weg für eine breite Kommerzialisierung der Mikrosystemtechnik ebnen&#046; <b>Keywords:</b> Integrated processes (micromachining, micromolding, &#046;&#046;&#046;), Assembly technologies, Materials, Micro&#8211;Nano Integration, Packaging of microdevices (MEMS, MOEMS, microfluidic, sensors), RF and microwave packaging, Packaging for harsh environments, Manufacturing of microsystems, Testing of microsystems and devices, Reliability of microsystems and devices, Micromechatronics, Commercialization of microsystems, emerging markets, Quality Control