Die Mikrosystemtechnik hat sich in den letzten zweiJahrzehnten in vielen Produkten aus den BereichenInformations– und Kommunikationstechnik, der moder–nen Automobilindustrie, der Medizintechnik, Biotech–nologie, Konsumgüterindustrie und Optik als wichtigeSchlüsseltechnologie etabliert. Ursprünglich entstanddie Mikrosystemtechnik als Anwendung bzw. Modifika–tion der Fertigungstechnologien der Silizium–Halbleiter–technik und wurde oft mit der dreidimensionalen Ätz–technik gleichgesetzt. Inzwischen haben sich auf derMaterialbasis Silizium eine Vielzahl leistungsfähigerTechnologien wie Oberflächen–Mikromechanik, Tief–trockenätzen, poröses Silizium, Waferbondverfahrenu.a. entwickelt.<br>Neben der Siliziumtechnik sind im letzten Jahrzehntdiverse Materialsysteme wie Metalle, Keramiken, Gläserund Kunststoffe mit ihren Fertigungsverfahren in denVordergrund getreten. Dazu zählen die Dünnschicht–technik sowie die Kombination aus Tiefenlithographie, galvanischer Abformung und Replikation, kurz LIGA.Daraus sind moderne Mikrourformverfahren entstanden,mit denen mikrostrukturierte Bauteile unterschiedlicherMaterialsysteme in großen Stückzahlen gefertigt werdenkönnen. Große Fortschritte in den Spritzgieß– und Heiß–prägeverfahren, aber auch in der Weiterentwicklungklassischer Formgebungsverfahren wie Hochgeschwin–digkeitsfräsen und Erodierverfahren haben die Miniatu–risierung vorangetrieben. Somit hat sich das Feld derMaterialsysteme und Fertigungstechnologien in derMikrosystemtechnik stark erweitert, so dass für fast alleAnforderungen zugeschnittene Lösungen zur Verfügungstehen. Insbesondere auf der Materialseite wird dieNanotechnologie zur Verbesserung der Eigenschaftenvon Mikrosystemen beitragen.<br>Der Workshop soll aus der Vielzahl der Forschungs–ergebnisse den aktuellen Stand der Technik in kon–zentrierter Form vermitteln, neue Entwicklungs–perspektiven in wichtigen Fertigungstechnologien und Materialsystemen aufzeigen und nicht zuletzt Anregun–gen für neue Ideen geben. Auch wirtschaftliche Aspekteder Fertigungsverfahren sollen behandelt werden. DerWorkshop soll sowohl Anwendern einen konzentriertenÜberblick geben als auch Experten aus Industrie undWissenschaft ein ausführliches Diskussionsforum deraktuellen Themen und Trends sowie des Forschungs–bedarfs bieten. <b>Keywords:</b> • Silizium–Technologie, z.B.<br>o Bulk–Silizium–Mikromechanik o Silizium–Oberflächen–Mikromechanik o Silizium–Mikromechanik mit Tiefentrockenätzung (DRIE) o Poröses Silizium.<br>• Abformtechniken für Metalle.<br>o Tiefenlithographie o Mikrogalvanik o LIGA bzw. Direkt–Lithographie–Galvanik o Industrialisierung und Potential für Low–cost–Anwendungen.<br>• Mikroformgebungsverfahren, z.B. Spritzgießen, Heißprägen u.a. für verschiedene Materialsysteme.<br>o Kunststoffe o Metalle o Keramik o Gläser.<br>• Ultrapräzisionstechnik, z.B..<br>o Formenbau mit diversen Verfahren o Laserstrukturierung.<br>• Neue Materialien und neue Herstellungsverfahren, z.B..<br>o Nanostrukturierte Materialien o MID o Werkstoffe und Herstellungsverfahren für die Energiespeicherung in Mikrosystemen
Abbrevation
GMM-Workshop
City
Karlsruhe
Country
Germany
Deadline Paper
Start Date
End Date
Abstract