Die 8. Tagung fällt in eine Zeit, in der sich Wissenschaftler in der Mikroelektronik an die Grenze des sinnvoll technisch Machbaren herantasten und in der Mikromechanik mit Nanotechnologien Neuland betreten. Das Interesse am Wissensaustausch mit Fachkollegen ist größer denn je. Deshalb soll diese Tagung den Spezialisten von Mikromechanik und Mikroelektronik wieder ein Podium bieten, sowohl den wissenschaftlichen Meinungsaustausch als auch Kontakte pflegen zu könen. Die einzügige Organisation der Tagung ermöglicht es, sich über Entwick–lungen und Forschungsergebnisse beider Gebiete der Mikrosystemtechnik zu informieren. Das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz (ZfM) ist in bewährter Weise als Kompetenzzentrum in die Tagung involviert. <b>Keywords:</b> Komponenten– und Systementwurf Technologieentwicklung, Fabrikation Charakterisierung von MEMS Entwurf analoger und digitaler Schaltungen zur Anwendung in Mikrosystemen Applikation von Mikrosystemen Datenmanagementsysteme in der Mikrosystemtechnik
Abbrevation
8. Chemnitzer Fachtagung
City
Chemnitz
Country
Germany
Deadline Paper
Start Date
End Date
Abstract