Themen:<br>Mikro–Nano–Integration – vom Material zum Produkt<br>– Monolithische Integration von Nanostrukturen in MEMS und Mikroelektronik, z.B.<br>– Pre– / above– / post–CMOS– bzw. MEMS–Prozesse<br>– 1D–Elektronik, 1D–Sensorik<br>– Heterogene Systemintegration (Grenzflächen und Materialverbünde)<br>– Embedding, optische und elektrische Interconnects<br>– Reaktive Nanoschichten / Material–Verbundsysteme<br>– Funktionale Nanostrukturen in der Sensorik<br>– Nanostrukturen in der Photonik und in der Umweltanalytik, Biochemie, Bioanalytik,<br>Medizin, Point of Care<br>– Chemische und physikalische Funktionalisierung von Grenzflächen<br>– Self assembly von Nanostrukturen<br>– Charakterisierung und Qualitätssicherung von integrierten Nanostrukturen<br>– Co–Simulation von Mikro– und Nanostrukturen<br>
Abbrevation
Mikro-Nano-Integration
City
Duisburg
Country
Germany
Deadline Paper
Start Date
End Date
Abstract