7. GMM Workshop, Dortmund, Deutschland

Abbrevation

Mikro-Nano-Integration

Link

http://conference.vde.com/mikronano/Pages/Workshop-Micro-Nano.aspx

City

Dortmund

Country

Germany

Deadline Paper

2018-06-15

Start Date

2018-10-22

End Date

2018-10-23

Abstract

Wenn Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie aufeinander treffen, ist der intensive Austausch der Akteure besonders wichtig. Die Autoren stellen ihre Arbeiten zunächst in Kurzpräsentationen (ca. 5 min je Poster) vor. Daran schließt sich eine Diskussionszeit an den Postern an, um in persönliche Gespräche zu kommen. Mikro–Nano–Integration – vom Material zum Produkt – Monolithische Integration von Nanostrukturen in MEMS und Mikroelektronik, z.B. – Pre– / above– / post–CMOS– bzw. MEMS–Prozesse – 1D–Elektronik, 1D–Sensorik – Heterogene Systemintegration (Grenzflächen und Materialverbünde) – Embedding, optische und elektrische Interconnects – Reaktive Nanoschichten / Material–Verbundsysteme – Funktionale Nanostrukturen in der Sensorik – Nanostrukturen in der Photonik und in der Umweltanalytik, Biochemie, Bioanalytik, Medizin, Point of Care – Chemische und physikalische Funktionalisierung von Grenzflächen – Self assembly von Nanostrukturen – Charakterisierung und Qualitätssicherung von integrierten Nanostrukturen – Co–Simulation von Mikro– und Nanostrukturen